CVD金刚石薄膜相关论文
本文采用热丝化学气相沉积法(Hot Filament Chemical VaporDeposition,HFCVD),在具有复杂形状的硬质合金整体式铣刀表面沉积了一层均......
研究了氮离子注入CVD金刚石薄膜的场电子发射行为 .实验表明 ,稳定发射的形成过程基本具有规律性的击穿、激活和稳定发射三阶段特......
金刚石具有优异的物理和化学性质,如超宽的带隙、化学惰性、超高的硬度和高导热率,是一种新兴的超功能材料。随着科技的不断发展,......
采用化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,简称CVD)技术在石墨表面沉积高性能金刚石薄膜,对于提高石墨的性能具有重要的意义。本......
CVD金刚石薄膜组分的Raman散射和光学吸收分析王冠中,方容川(中国科学技术大学物理系合肥230026)左健,许存义(中国科学技术大学结构与成份分析中心合肥......
本文从理论上研究了等离子体CVD金刚石薄膜过程中的衬底正偏压增强金刚石成核效应,给出了增强成核强度与正偏压和沉积参数的关系,理论较......
以氮气为杂质源,采用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)技术进行了金刚石薄膜的原位掺杂,研究了氮掺杂对CVD金刚石薄膜的形貌结构......
CVD金刚石薄膜刀具的表面粗糙度是影响刀具切削性能的重要参数。为通过改进CVD沉积工艺减小金刚石薄膜表面粗糙度 ,提出了适当提高......
采用由普通炸药爆轰制备的金刚石纳米粉对光滑硅衬底进行了涂覆预处理,研究了金刚石薄膜经徐覆和研磨预处理的两种衬底上的生长行为......
采用离子注入工艺对YG6硬质合金表面进行处理,探讨了离子注入处理对硬质合金CVD金刚石涂层形成的影响。研究结果表明,Mo离子注入使......
Dynamic friction polishing (DFP) is one of the most promising methods appropriate for polishing CVD diamond film with hi......
钻石电影被热细丝化学药品蒸汽免职(HFCVD ) 在高速度的钢底层上扔方法。为了最小化石墨的早形成并且提高钻石,拍摄粘附, WC 公司涂......
上海交通大学把CVD金刚石薄膜制备技术应用于拉拔模具,不仅攻克了涂层均匀涂覆、附着力等关键技术,而且解决了金刚石涂层抛光这一国......
以CH4和H2为气源,用微波辅助等离子体装置,在10.0mm×7.0mm的砷化镓基底上沉积了CVD金刚石薄膜,用扫描电子显微镜观察沉积效果,拉曼......
对氮离子注入掺杂的微波等离子CVD金刚石薄膜进行了场电子发射研究。结果表明,发射具有3特征,即当样品损伤层被击穿、发射体被激活后,稳定......
金刚石涂层是一个新兴的高技术领域,十二五规划中明确指出:开发复合材料系列化刀具以及专用金刚石涂层整体硬质合金刀具为科技重大专......
研制了用于X射线测量的化学气相沉积(CVD)金刚石薄膜探测器。该探测器灵敏区直径为15 mm、厚度300μm,其暗电流在800 V偏压下小于50 ......
采用离子注入工艺对YG6硬质合金表面进行处理,探讨了离子注入处理对硬质合金CVD金刚石涂层形成的影响。研究结果表明,Mo离子注入使......
对CVD金刚石薄膜涂层刀具的制造方法,性能特点,切削试验及应用前景进行了综合分析及预测。......
采用固体三氧化二硼,在硅衬底上用HFCVD法生长金刚石薄膜.对CVD金刚石薄膜的进行了表面形貌和结构进行了研究,并测试了不同硼掺杂......
化学气相沉积(CVD)金刚石一般无法直接应用,需要对其进行抛光处理。在熟悉平面厚膜抛光的机理基础上,采用自制抛光的设备,对拉伸模......
采用激光抛光和热化学抛光相结合的方法,对通过热丝CVD方法生长的金刚石薄膜进行了复合抛光处理.并利用X射线衍射仪(XRD)、拉曼光谱仪(R......
简单介绍了CVD金刚石薄膜技术发展、金刚石薄膜的制备有物理气相沉积法(PVC)和化学气相沉积法(CVD)两类。通过国内外有关学者就金刚石......
碳化硅作为新型的第三代半导体材料同时在海洋密封材料方面具有广泛的应用。金刚石则具有一系列优异的物理化学性能。以碳化硅为衬......
金刚石是自然界中最坚硬的材料,同时具有宽带隙、高导热、宽电势窗口等优异性质,在机械、电子、航空航天等多领域具有非常广泛的应......
研究了渗硼预处理对硬质合金YG6刀具上金刚石涂层形核、生长和切削性能的影响。采用扫描电镜观察分析表面形貌,X-射线衍射进行物相......
化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)金刚石薄膜具有硬度高、摩擦系数低、耐磨性强以及表面化学性能稳定等优异的机械及摩......
ue*M#’#dkB4##8#”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:(100084川C京市海淀区清华园申请人:清......
学位
采用基于密度泛函理论的第一性原理方法研究CVD金刚石薄膜(001)表面的生长机理。计算清洁金刚石表面和氢(H)终止金刚石表面的构型......
金刚石涂层的粘结性能是影响CVD金刚石薄膜涂层刀具使用寿命的关键因素.本文分别对硬质合金(YG6)表面进行酸蚀去钴和原位脱碳两种......
微细零部件系统是微小尺度范围内综合机、电、液等技术而形成的高新技术产品,广泛应用在绿色能源、信息电子、航空航天、工业生产......
CVD金刚石薄膜具有优异的电学、光学、热学、机械性能和化学稳定性,能够耐高温、耐腐蚀和抗强辐射,成为当前微电子器件在苛刻环境下......
化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition, CVD)金刚石薄膜优异的性能,如极高的硬度、弹性模量、热导率、良好的自润滑性和化学稳定......
化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition, CVD)金刚石薄膜具有硬度高、摩擦系数低、耐磨性强以及表面化学性能稳定等优异的机械及......
CVD金刚石薄膜具有优异的物理和化学性质,在力学、声学、热学以及电子学等领域具有广泛的应用前景。本文采用自行设计的大功率热丝C......
金刚石具有所有物质中最高的弹性模量(E=1200Gpa),材料密度较低(ρ=3.51g/cm3)纵波声速在所有物质中最高,可达到18000m/s,由于其优......