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日趋成熟的SOI技术

SOI技术作为21世纪的硅集成技术正在日益受到人们的青睐。从SOI技术的发展过程、制备工艺、开发应用及市场预测几个方面评述了SOI......

期刊

绝缘体上硅注氧隔离硅集成技术半导体 SOI SIMOX BESOI ELTRAN Market Prospects

非单一SiO2埋层的SOI新结构研究

探索研究新的SOI结构成为SOI研究领域新的热点。传统SOI结构是以SiO2作为绝缘埋层，由于氧化硅的低热导率而使SOI器件／电路存在自加热......

学位

SOI新结构 ELTRAN Smart-cut 自加热效应

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