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硅中掺杂元素砷的三维微分析
利用同步辐射X光微区分析和全反射X射线荧光分析技术测定了硅中掺杂元素砷浓度的三维分布,其中深度剖面分布的测定结果与二次离子质谱......
期刊
X射线荧光分析
硅半导体
砷掺杂
三维分布
Huminite
Fluorescent spectrum
I546
λmax
Q650500
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