KRF相关论文
我们研制了一台用于光刻的ＫｒＦ准分子激光器（２４８ｎｍ），单脉冲能量２００ｍＪ平均功率５～９Ｗ，能量不稳定度＜土５％，脉宽３５ｎｓ，线宽０．５２ｎｍ，重复频率０．５～１００Ｈｚ，单次充气寿命＞５×１０５次脉冲数，储气寿命约一个......
在一台长脉冲放电泵浦ＫｒＦ准分子激光器上，对采用腔内倾斜标准具法压缩线宽进行了研究．采用平行平面腔结构，在谐振腔中加入小孔光阑以控制......
在KrF激光惯性约束核聚变研究中,MOPA(MasterOscillatorandPowerAmplifier)系统是获取ns级短脉冲、高光束质量的有效方法。我们设......
Ｔｗｏ－ＳｉｄｅＥｌｅｃｔｒｏｎＢｅａｍＰｕｍｐｉｎｇＳｙｓｔｅｍＦｏｒＨｕｎｄｒｅｄ－Ｊｏｕｌｅ－ＬｅｖｅｌＫｒＦＥｘｃｉｍｅｒＬａｓｅｒ￥ＭＡＷｅｉｙｉ；ＳＨＡＮＹｕｓｈｅｎｇ；ＺＨＯＵＫｕｎｇｏｎｇ；ＷＡＮＧＹｏｕｔｉａｎ；ＺＨＡＮＧＤｏｎｇ；...
Two-Side ElectronBeamPumpingSystemForHundred-Joule-LevelKrFExcimerLaser ¥ MAWeiyi; SHANYusheng; ZHOUKongong; WANGY......
用三维电子输运Ｍｏｎｔｅ－Ｃａｒｌｏ（ＭＣ）方法研究了双向四电子束泵浦ＫｒＦ准分子激光器ＭＯＰＡ系统中主放大器（Ｈ１Ｍ）的能量沉积空间分布。计入了Ｈｉｂａｃｈｉ结构和主膜的影响。对０．５ＭｅＶ的电子，泵......
介绍闪光Ⅱ号加速器泵浦的百焦耳级氟化氢激光研制情况，给出了激光器的构造和主要性能。在二极管电压为８４０ｋＶ，电流为２００ＫＡ条件下，获得了１５７Ｊ的最大激......
Heaven-IKrF激光装置,在1997年度围绕第一阶段目标,即进行高能KrF激光MOPA系统的建设开展了广泛深入的工作。通过利用电子束双向泵......
利用激光等离子体软X射线激励，观察到了一种新型离子准分子──KrF离子准分子的真空紫外连续谱，其辐射中心波长位于148nm附近。并在......
设计了大型ＫｒＦ准分子激光器放大自发辐射的三维和准三维计算程序，比较了两种方法的差别。通过对不同纵横比、增益吸收比及注入光强条件......
实验研制了针对波长２４８ｎｍＫｒＦ准分子激光的零级抑制石英相位掩模器。用双层掩蔽和图形转移技术，在双面抛光的石英基片上以ＣＨＦ３／Ｏ２为反应气体，用反应离......
本文报道了用于半导体光刻的一体化小型KrF准分子激光器及光学系统的性能。获得了16mm×40mm的均匀光斑，光强分布不均匀性＜±5％光密度......
日本佳能公司研制半导体制作0.15μm特征尺寸工艺用的KrF准分子激光步进器FPA—3000 EXC,曝光面积为对角线22
Japan’s Canon co......
无外加氟施主情况下，在采用聚四氟乙烯面预电离板的准分子激光器中，分别用摄谱法和光电转换扫描法对放电激发Ｋｒ／Ｎｅ混合气体产生的有关紫外......
同步控制是电子束泵浦ＫｒＦ激光ＭＯＰＡ系统装置的重要组成部分，它联结ＭＯＰＡ系统各关键单元，关系到ＭＯＰＡ系统能否正常运转。研究同步控制系统的工作目的是获......
在ＫｒＦ激光惯性约束核聚变研究中，ＭＯＰＡ（ＭａｓｔｅｒＯｓｃｉｌｌａｔｏｒａｎｄＰｏｗｅｒＡｍｐｌｉｆｉｅｒ）系统是获取纳秒级短脉冲、高光束质量的有效方法。光学角多路系统是ＭＯＰＡ系统的重要组成部分。本年度完成了......
１ 引言 准分子激光器在各种工艺过程中的使用效率取决于振荡能量Ｅ及平均功率Ｗ的提高和激光器特性的改善，例如脉冲能量的稳定性。在......
利用阵列探测器测出大直径（２６７ｍｍ）、高能量（４００Ｊ）ＫｒＦ激光束强度空间分布的均匀性和总能量。随着二极管电压的降低，双向泵浦的束强度空间分布的均匀......
在1999年度,高能高功率KrF激光装置研制工作取得如下进展。 在单束注入放大工作基础上,通过联调和运行考验,使角多路KrFMOPA系......
高功率ＫｒＦ准分子激光振－放（ＭＯＰＡ）系统的研究工作在１９９８年的主要目标是完成ＫｒＦ激光ＭＯＰＡ系统单束注入放大联调。主要工作及成果如下：（１）电子束泵浦预放大器安装......
设计了一种新的ＩｎＰ／Ｉｎ０．７５Ｇａ０．２５Ａｓ／ＩｎＰ器件结构，其特点在于采用ＩｎＰ衬底，高ｘ值的ＩｎｘＧａ１－ｘＡｓ沟道，选用ＩｎＰ作为势垒层，从而避免了用含Ａｌ势垒层有可能引起的ＤＸ中心对器件性能的不利影响......
KrF准分子激光MOPA系统时间关联的优化@姜兴东@王效君@杨大为@马景龙@单玉生@王乃彦
KrF excimer laser MOPA system optimizatio......
2000年高功率KrF准分子激光系统研究进展@单玉生@王乃彦@龚堃@马景龙@姜兴东@汤秀章@陶业争@杨大为@马维义@陆泽
Research Progre......
由于芯片制造者竭力与摩尔定律保持一致 ,半导体产业便无疑成为娴熟的光学光刻所拒绝放弃任何可能的机会。光刻设备不断地突破其先......
天光一号高功率KrF准分子激光装置由研制阶段过渡到使用阶段,需要将11套实验性气系统做成1套应用性气系统,进一步保障加速器的安......
为了给物质状态方程(EOS)的实验研究提供均匀的辐照,需对入射激光束进行平滑处理,全年围绕光束平滑的工作,共进行了四个阶段的实......
介绍了原子能院建立的钛宝石 /KrF混合型激光装置 ,主要输出参数的测量和性能优化。放电泵浦准分子激光器采用离轴放大结构 ,结合......
日本佳能最近开发了“ＦＰＡ - 5 0 0 0ＥＳｚ” 2 5 6ＭＤＲＡＭ和下一代ＭＰＵ等批量生产用ＫｒＦ准分子激光扫描步进光刻机。本机用于采用 30 0ｍｍ圆片的正规批量生产......
将紫外超短激光脉冲经过放电泵浦KrF激光放大器LLG50、“天光一号”电子束泵浦KrF激光预放大器和主放大器进行了3级放大,最终将1 m......
248 nm放电抽运KrF准分子激光器在微电子学和医学等领域有重要的应用价值。在大多数应用中,激光器的最大输出效率和能量都是十分重......
KrF激光系统特别适合于“冲击点火”概念,且本实验室建有国内最大的百焦耳级KrF准分子激光系统:“天光一号”采用ISI及像传递技术......
在电子束泵浦KrF激光的整个动力学反应过程中,从强流泵浦电子束的能量,到沉积在激光介质中的能量,然后再通过放大的自发辐射和受激......
高功率激光驱动高速飞片发射过程中,在飞片内部会诱发产生强冲击波。对于短脉冲激光,冲击压缩的动力学过程时间很短、过程简单,往......
在天光一号装置上开展了KrF准分子激光驱动约束层靶产生高速飞片的实验研究,并利用成像型速度干涉仪(Imaging-VISAR)对飞片自由面......
ＩｎｔｅｎｓｉｔｙＤｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｏｆＬａｒｇｅＤｉａｍｅｔｅｒａｎｄＨｉｇｈＥｎｅｒｇｙＫｒＦＬａｓｅｒＢｅａｍＦｅｎｇＱｉ；ＧｏｎｇＫｕｎ；ＬｉＪｉｎｇ；ＳｈａｎＹｕｓｈｅｎｇ；ＷａｎｇＮａｉｙａｎＴｏｉｍｐｒｏｖｅ...
IntensityDistributionMeasurementofLargeDiameterandHighEnergyKrFLaserBeamFengQi; GongKun; LiJing; ShanYusheng; WangN......
１．１１用光声法研究ＫｒＦ激光对光学膜的损伤现象高怀林，王乃彦，单玉生在ＫｒＦ激光驱动的惯性约束核聚变实验研究中，由于激光能量大、功率高，因而在光束......
本文介绍了一种以氟气和惰性气体为原料合成 Kr F2 和 Xe F2 的热催化合成方法并对合成机理和条件作了简单的讨论 ,利用合成的 Kr ......
基于“天光一号”长脉冲KrF准分子激光辐照系统驱动铝金属材料开展了激光驱动高速飞片实验研究,利用侧向阴影照相技术对飞片飞行轨......
利用“天光一号”KrF准分子激光系统对激光驱动带约束层金属飞片的实验技术进行了研究,实现高速飞片发射。并通过侧向阴影照相技术......
为建立一套较好的KrF激光反应动力学模型,以对激光系统的搭建提供必要的理论指导,并能从理论角度对激光系统的实验结果加以解释,本......
采用聚焦KrF准分子激光器(波长:249nm)照射SiH_4-O_2N_2混合气体实现了在Si衬底上SiO_2的淀积.在衬底温度为250℃时,淀积速率是300......
