分析了ＭＺＯＳ结构及其Ｓｉ－ＳｉＯ２子系统的Ｃ－Ｖ特性，发现ＺｎＯ中的氧空位和溅射工艺过程在Ｓｉ－ＳｉＯ２界面引入的界面电荷是影响ＭＺＯＳ结构界面特性的主要因素。研究还表明，低温热......

本文研究了ＭＺＯＳ结构的电学性质及热处理效应，并进行了Ｘ线衍射分析和电子能谱分析。发现适当温度下的氧退火处理对改善ＺｎＯ膜的Ｃ轴对称性、降低......