采用同步辐射进行深度Ｘ射线光刻是ＬＩＧＡ工艺的关键工序，它包括ＬＩＧＡ掩模板的制备、光刻胶的涂制与深度Ｘ射线光刻等多个工艺环节，该技术在深度比要......

为了研制可调谐光纤光栅滤波器而采用拉伸装置和光纤光栅一体化的微小器件结构.实现方法是由微细加工技术加工制造一种新的波长可......

提出一种基于特殊红外吸收机理和先进微机械加工技术实现的新型室温工作红外探测器.利用在特定波段对红外辐射有强烈吸收的气体作......

主要介绍了一种Cu的CELT加工的化学刻蚀体系和捕捉体系,并通过控制刻蚀时间、刻蚀电流、刻蚀剂浓度、捕捉剂浓度等实验参数和优化......

采用ＫＯＨ：Ｈ２Ｏ的湿法化学腐蚀Ｓｉ（１００）晶片获得了球面轮廓曲线十分好的微透镜，透镜直径可从几个微米到几个毫米，焦距和孔径之比ｆ／Ｄ可以从２．５到１０以上，文章给出了......

分析了现有的ＡＦＭ力传感器的工艺特点及问题，在此基础上研究用ＫＯＨ溶液两步法Ｐ＋自停止腐蚀制作厚度精确可控的单昌硅悬梁；以ＳｉＯ２为掩模，ＳＦ６刻蚀硅，用ＲＩＥ与各......