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PECVD薄膜沉积系统相关论文
大面积全自动SiN<,x>薄膜PECVD沉积系统的设计与实现
PECVD薄膜沉积系统在半导体薄膜沉积过程中得到了非常广泛的运用,同时也是制造非晶硅薄膜太阳电池的主要设备。PECVD沉积的氮化硅薄......
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PECVD薄膜沉积系统
SiNx薄膜
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