本文应用Langmuir双探针测量了距离Hall推力器出口30cm到100cm的羽流特性.实验中真空舱压力保持在5×10-4-2×10-3Pa之间.实验证明......

随着经济建设的发展，许多工业领域要求在p＜10-2 Pa的低气压下利用辉光等离子体。我们已在10-3 Pa-lO-2 Pa的低气压、磁场条件下得到......

研究了氮气低气压直流辉光放电等离子体在不同压强下的放电特性。用langmuir双探针测量等离子体中电子温度,并研究放电管中不同位......

分析了Langmuir静电探针测量电推进等离子体参数的方法、原理,针对Hall推力器羽流等离子体参数诊断的需要开发了一套单、双Langmui......

介绍了环形狭缝波导天线等离子体源的原理和结构.采用微波单探针测量了无等离子体情况下环形波导狭缝天线内的电场分布,利用Langmu......

设计了一种玻璃管式封闭等离子体腔室,以高频开关电源为工作电源,高纯氩气（体积分数为99.999%）为工作气体,结合汤森放电理论,推导了......

采用Langmuir双探针技术对氩气环境下射频磁控溅射铜薄膜过程中产生的辉光等离子体进行了实时诊断．结果表明，在一定的射频功率下，电子......

阐述了利用Langmuir双探针诊断等离子体参数的基本原理,对圆柱腔中的空气辉光放电等离子体进行了双探针诊断,通过实验测得伏安特性......

通过Langmuir双探针和发射光谱诊断方法,对比研究了驱动频率为13.56 MHz和2 MHz柱状感性耦合等离子体中电子密度和电子温度的径向......

应用Langmuir双探针诊断理论，对充有氖气的石英放电管中的辉光放电等离子体进行了诊断，通过实验测得伏安特性曲线，计算得出电子温度和......

研制了一种新的大面积微波等离子体源。由环形波导腔环绕直径３０ｃｍ、高５０ｃｍ耐热玻璃圆筒真空室构成。环形波导内侧开有多个狭缝用来激励产生......