光学轮廓仪相关论文
在分析光学轮廓仪的空间分辨率和带限功率谱密度函数的基础上,用新测不同要品的大量数据研究了光学元件表面粗糙度测量与光学轮廓仪......
本文利用非接触式光学轮廓仪研究了双面抛光过程中化学作用对300mm硅片表面形貌的影响,并对硅片表面的化学腐蚀机理进行了讨论.结......
采用表面轮廓仪测定了光纤和湿法刻蚀加工的单模与多模光纤端面粗糙度,并与光学显微镜检测的结果进行了对比。结果表明:表面轮廓仪表......
应用PZT作为微位移驱动机构,研制的光学轮廓仪的垂直分辨率可达1nm,可实现对表面Ra从0.16μm至0.01μm的精确测量,在测试分析位移-电压动态响应特性基础上......
所述的光学轮廓仪是利用双焦透镜产生的偏振光束经被检面反射后形成了一共路干涉体系,因此该干涉体系可对超光滑表面做非接触无损检......
采用表面轮廓仪测定了光纤和湿法刻蚀加工的多模单模与多模光纤粗糙度数据。结果表明:表面轮廓仪表适合检测光纤及刻蚀加工后的2D与......
本文提出了单模光纤探针式光学轮廓仪的构成及工作原理,重点分析了光纤探针的基本理论,导出了理想状态下光纤探讨与被测表面的耦合效......
本文提出了一种对机械振动等环境干扰不敏感的高分辨率光学轮廓仪,应用Noma-rski微分干涉显微成象原理和相移干涉技术,实现了对表面微观轮廓的......
采用光学轮廓仪和探针台阶仪测定了纯化学浆纸和含高得率浆纸粗化过程中的表面均方根粗糙度(Rq)变化,并对Rq值进行了频谱分析。结果表......
工程表面的测量和评定是当今计量学领域的研究热点。本文在总结当今表面形貌测量及评定方法的基础上,系统地论述了作者在工程表面......
在分析光学轮廓仪的空间分辨率和带限功率谱密度函数的基础上,用所测不同样品的大量数据研究了光学元件表面粗糙度测量与光学轮廓仪......
讨论了如何确定及消除光学轮廓仪的系统误差,进而测定超光滑光学表面粗糙度的方法及结果。在Zygo Maxim 3D5700 表面轮廓仪上使用2-5 ×和20 ×Mirau 物镜测量......