准SOI器件相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

准SOI器件相关论文

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SOI(Silicon On Insulator)CMOS器件由于可以实现全介质隔离、避免闩锁效应、减小寄生电容和泄漏电流以及具有优良的电学特性而在......

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Silicon-on-Nothing(SON)MOSFET及其制造方法

随着体硅CMOS技术的发展,需要从材料选用、器件结构以及加工技术等各个方面进行创新,其中以应变硅为代表的沟道高迁移率增强技术,......

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ETSOI器件浮体效应自加热效应准SOI器件应变Si

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