压电微悬臂梁相关论文
压电微悬臂梁因其优质的特性在微机电系统中受到广泛应用,作为微执行驱动器,悬臂梁在电压驱动作用下不断与底座发生接触-分离,从微......
微悬臂梁作为最简单的一种MEMS器件,最早应用于扫描探针显微镜进行微小力和表面形貌的检测。近年来,由于其结构尺寸小、灵敏度高、......
作为一种高灵敏度的传感器件,微悬臂梁的应用极为广泛,最初是应用于原子力显微镜(AFM)上,它的使用使AFM不仅具有原子级分辨力的显......
压电微悬臂梁是一种利用压电元件的逆压电效应驱动微悬臂梁使其振动,并利用压电元件的压电效应来检测梁的变形量的集成微驱动器和......
介绍了一种压电微悬臂梁共振频率检测系统。压电材料沉积在微悬臂梁上,在压电层的上下电极之间施加交变电压使其振动,当微悬臂梁的......
压电微悬臂梁是一种灵敏度高、尺寸小的生化传感器。分子或原子在压电微悬臂梁功能化表面的吸附会引起悬臂梁的静态弯曲,通过静态......
设计了几种新型压电微悬臂梁结构,目的是实现微悬臂梁同时具有激振和测振功能.设计的微悬臂梁尺寸（长×宽×厚）为860μm......
制作了PNZT薄膜驱动的压电微悬臂梁,将压电微悬臂梁的模型简化为压电层-结构层双层微悬臂梁模型,并使用理论计算和有限元仿真软件......
压电振动能量采集器可将自然界中广泛存在的机械振动能转换为电能，并且一直向微型化电源的目标迈进．为此，以矩形压电微悬臂梁结构作为......
