双层静电梳齿结构相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

双层静电梳齿结构相关论文

梳齿式MEMS光开关的分析与改进

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学位

MEMS光开关双层静电梳齿结构气膜梳齿负反馈电容

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期刊

防空导弹系统反应时间 MEMS光开关阵列双层静电梳齿结构气膜阻尼

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