声表面波加速度计相关论文
声表面波(SAW)加速度计是一种高性能、低成本的新型传感器。在我国,由于SAW加速度计动态性能差等问题没有解决,所以至今尚未投入实际......
加速度是矢量,所以在测量加速度大小的同时,给出加速度的方向是非常必要的。但传统SAW加速度计设计忽视了对被测加速度方向的判断问......
随着微机械结构工艺的改进,声表面波静电力闭环方案必会以其不可替代的优势成为一个发展方向.本文阐述了静电力发生器的结构,提出......