本文研究室温下工作 ,具有双敏感膜 ,检测ppb范围内O3 浓度的复合悬浮栅FET(HybridSuspendedGateFieldEffectTransistor即HSGFET)......

本文研究室温下工作，具有双敏感膜，检测ppb范围内O3浓度的复合悬浮栅FET（Hybrid Suspended Gate Field Effect Transistor即HSGFET）型......