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目前电渣炉普遍应用的控制方式为功率控制,但此种控制方式主要依靠熟练的操作经验,工艺波动性大.由国外引进的电渣炉设备普遍采用......
文中基于各向异性湿法腐蚀技术的硅纳米线加工技术,采用传统的光刻、刻蚀和沉积技术,利用Si(111)面的自停止腐蚀和硅纳米线的自限......
微差压传感器采用EI型膜片结构，其膜片成型技术包括两方面的内容，正面Ⅰ型梁的形成和背面E型杯的加工。最终形成的EI型膜片其厚度仅......
该工作试验了用柠檬酸与双氧水系列腐蚀液来实现InAl（Ga）As：InP和INGaAs：InAlAs择腐蚀，达到了较好的效果，且工艺重复性好。同一单片上MSM......
Cu(In,Ga)Se(CIGS)太阳电池以其廉价、高效、稳定等优点,很有希望成为新一代薄膜太阳电池的主流产品.当前,其最高效率已经达到18.8......
根据超突变结变容二极管设计和工艺特点，报道了利用SILVACO公司工艺模拟软件Athena、器件模拟软件Atlas等完成超突变结变容二极管的......
本课题来源于十二五规划863项目。在氮化镓发光二极管(GaN LED)行业发展的今天,良率一直是影响金属有机化学气相沉积(MOCVD)法制备......
蚀刻在半导体工艺中主要负责图形转换的过程,线宽的变窄对工艺的稳定性提出了相当高的要求。90nm以下的逻辑产品,铜互连成为替代铝......
