差动共焦相关论文
为了提高曲率半径的测量精度,提出后置分光瞳激光差动共焦曲率半径测量方法,研究了后置分光瞳差动共焦测量原理和虚拟针孔定位算法......
针对激光惯性约束聚变靶丸轮廓高精度测量系统的溯源标定问题,提出一种基于激光差动共焦测量原理的标定溯源方法.该方法基于激光差......
共焦显微技术因其具有优异的横向分辨力和独特的轴向层析能力,在非接触成像检测领域发挥越来越重要的作用,但其也存在焦点附近线性......
表面粗糙度是表面质量评价的重要组成部分,在机械、电子、生物医学和光学等诸多领域都有重要应用。随着纳米技术、微细加工技术和......
在显微测量领域，对微观物体形貌及结构的准确检测逐渐成为现代科技的关注点之一。同时伴随着半导体技术、生命医学技术和量子技术的......
针对大曲率表面面形测量问题，提出一种单轴法线跟踪式测量方法。通过运用 Collins 公式，研究了倾斜角度对基于高斯光束测量系统的影......
期刊
针对大曲率表面面形测量问题,提出一种单轴法线跟踪式测量方法。通过运用Collins公式,研究了倾斜角度对基于高斯光束测量系统的影......
基于高精度光学共焦定位技术研制了一种全新的非接触透镜中心厚度测量系统,该系统利用差动共焦技术的高轴向层析特性和轴向响应曲......
为了增强高精度曲率半径测量仪器的抗环境干扰能力,满足现场使用需求,研制了一套基于光栅尺测长的激光差动共焦曲率半径测量系统。......
激光差动共焦显微镜具备高空间分辨率特点,但因其逐点扫描成像方式,扫描时间长,易受三维扫描系统不稳定和环境干扰等影响,产生系统......
为实现对大曲率表面轮廓进行高效、准确的非接触测量,提出一种基于差动共焦原理的单轴法线跟踪式测量方法,具有高分辨力和高信噪比......
阶跃样品显微测量时,样品三维形貌本身丰富的阶跃信息极易受到噪声高频信号的干扰,如何在滤除噪声的同时保持三维形貌的阶跃特征,......
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提出了一种基于光强信号实时判断的快速定焦方法,在对样品进行横向扫描的同时,驱动测量物镜轴向移动,对前焦探测器和后焦探测器采......
球面元件由于其优异的加工性能,在激光核聚变系统、极紫外光刻机、新一代球形惯性仪表等高端系统中仍被广泛应用。但球面元件的检......
针对国内高精度曲率半径计量需求,研制一套激光差动共焦曲率半径测量系统。该系统采用差动共焦定焦技术,利用轴向光强响应曲线的过......
在现代光学测量领域中，曲率半径是光学透镜最基本的参数之一，其精度将直接影响透镜的焦距、像差等光学参数，进而影响光学系统的综合性......
随着如激光核聚变系统和紫外光刻机等国防、前沿科研技术领域的发展,对于球面元件参数的测量精度也随之提高。另外,光学元件的高精......
在现代光学测量领域中，曲率半径是光学透镜最基本的参数之，其精度将直接影响透镜的焦距等光学参数，而这些参数又在很大程度上影响着光......
由于激光写入设备加工器件衍射效率高、加工尺寸大、制作衍射器件过程简单及加工精度高等特点,被广泛应用于加工各种衍射光学器件,......
为了解决激光聚变靶丸表面形貌高精度测量与评定的难题，提出一种激光差动共焦靶丸球度测量与评定方法，该方法利用激光差动共焦测量系......
