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采用SiH4-C3H8-H2气体反应体系,通过常压化学气相淀积（APCVD）工艺在电化学腐蚀的多孔硅衬底上进行了多晶3C-SiC薄膜的生长,研究了多......
近年来，移动通信、雷达、GPS及高速数据处理系统的迅猛发展大大刺激了市场对高性能半导体器件的需求，高频、低压、低功耗、低噪声、......
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