干法腐蚀工艺相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

干法腐蚀工艺相关论文

感应耦合等离子体刻蚀机二维放电模拟

为研究感应耦合等离子体（ICP）刻蚀机腔室与线圈结构以及工艺参数对等离子体分布均匀性的影响，基于商业软件CFD-ACE＋中等离子体与电磁场......

期刊

干法腐蚀工艺感应耦合等离子体电子数密度电子温度 dry etching process inductively coupled plasma elect

高选择性的SiO2／Si干法腐蚀工艺

高选择性的二氧化硅对单晶硅及多晶硅的干法腐蚀工艺在半导体加工领域占有重要地位.本文通过大量实验研究出了一种以CHF3和SF5作为......

期刊

高选择性干法腐蚀工艺大规模集成电路设计制造等离子体反应离子刻蚀选择比二氧化硅硅单晶硅半导体加工 plasma reactive ion e

看过本文同时还关注