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本文叙述了对多弧离子镀膜机阴极弧源所做的实验研究，提出了如何降低靶极工作电流、提高靶材利用率、减小蒸发粒子的颗粒度以及提高......
本文在真空条件下利用真空电弧源在不同基底材料上镀制了 TiO2薄膜。对影响镀膜过程和膜层质量的氧气工作压强和偏压等因素进行了......
介绍了阴极真空弧沉积中,弧源在阴极接地和阳极接地两种不同工作状态下的工作特性.发现阳极接地时,因沉积靶室入口法兰的第二阳极......
根据毕奥萨伐定律设计磁感应强度B≥5000GS的可控等离子加速蒸发器(弧源)，圆管状蒸发器端面排列组合2组滑动线圈，弧束集中性好，等离子......
