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论述了硅微振动轮式陀螺仪的结构组成,分析了其动态过程,探讨了提高其灵敏度的途径以及影响其精度的误差来源,最后给出了测试电路和制......
微型硅加速度计采用挠性结构、电容传感器和电容静电力矩器。挠性接头厚度和电容极板间隙均在微米量级。而电极表面绝缘层厚度应在......
针对个人足部导航MEMS器件误差较大,直接影响个人导航精度的问题,论文采用了一种十二位置标定法.首先建立陀螺仪和加速度计的输入......
光电微型惯性器件是惯性导航、惯性制导系统中的关键部件之一,其性能很大程度上决定了导航和制导的精度。由于外界环境温度的变化......