微带环缝谐振器相关论文
本课题由国家自然科学基金项目“小功率微波微等离子体的研究”（批准号：61072007）资助。近年来,研制可集成于微机电系统（Micro-Electro......
本文基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波微等离子体源,通过外加磁铁研究磁场对小功率微波微等离子体激励的影响.实验结果表明,......
等离子体源的小型化研究一直是等离子体源研究的难点，而基于微带型的小型化等离子体源更是该研究的重点。随着MEMS工艺的广泛应用，基......
学位
介绍了一种基于微带环缝谐振器的2.45 GHz小功率微波等离子体源,根据微带环缝谐振器的奇模等效电路,通过S参数与微波等离子体阻抗......
该文介绍了一种基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模方法。根据半波长终端开路谐振器的特性,通过选择合适的缝......
本课题由国家自然科学基金项目“小功率微波微等离子体的研究”(批准号：61072007)资助。基于微系统的小功率微波等离子体技术是一项......
