扭转微镜相关论文
近年来,对MEMS的研究越来越受欢迎,在MEMS的各个领域中,MEMS扭转微镜引起了很大的关注,应用范围包括,光学相干断层扫描,关开关,高......
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为了改善硅微机械扭转微镜的机电耦合特性,降低器件的驱动电压并提高其工作可靠性,提出了几种新颖的基于复合静电驱动结构的硅微机......
MEMS技术是一种前沿的、多学科交叉的高科技技术,是基于现代科学技术,并作为整个纳米科学技术的重要组成部分,具有广阔的市场和应......
目前，传感网络正朝着智能化方向发展，“物联网”和“智慧地球”的核心技术均是无线传感网技术。在特高压智能电网的发展过程中，实现电......
微机电系统(MEMS)自20世纪80年代中期发展至今一直受到世界各发达国家的广泛重视，被认为是一项面向21世纪可以广泛应用的新兴技术。......
该文对新结构扭转微镜MEMS光开关进行了研究.首先,该文对扭转微镜MEMS光开关的基本结构进行了力学、光学和机电特性分析,包括提出......
提出一种通过扭转引起光强变化来检测电流的磁敏传感器结构,包括扭转微镜结构和光检测部分。分析了传感器的磁敏原理和力学理论,根......
应用基于表面硅、体硅微电子工艺的混合微加工技术,制作了新型2×2扭转微镜光开关阵列,并研究了其在外加静电场和交变电场中的机电......
为了改善硅微机械扭转微镜的机电耦合特性，降低器件的驱动电压并提高其工作可靠性，提出了几种新颖的基于复合静电驱动结构的硅微机械......
基于计及边缘效应的矩形平行板的静电力计算公式，建立了扭转微镜的动力学模型，采用Rom—berg数值积分法计算驱动力，并借助迭代修正齐......
提出了一种用于检测50 Hz高压交流电的新型MEMS光学电流传感器。详细介绍了器件的敏感与光学检测原理,给出了器件结构、温度补偿、......
采用对比扭转微镜的静电力矩与机械回复力矩随角度的变化规律的方法,对串联电容后,扭转微镜吸合角的变化规律进行了数值仿真和解析......
应用基于表面硅、体硅微电子工艺的混合微加工技术，制作了新型2×2扭转微镜光开关阵列，并研究了其在外加静电场和变交电场中的机......
Numerical solutions could not perform rapid system-level simulation of the behavior of micro-electro-mechanical systems(......
给出了仅考虑微镜扭转运动的静力学分析模型,在分析微镜扭转梁因非线性静电力引起弯曲变形的基础上,建立了静电驱动微镜扭转-弯曲......
扭转微镜中的静电和机械两个物理场是非线性耦合的,因此系统的数学模型及动态特性分析就变得很复杂.首先建立了扭转微镜的非线性动......
文章从静电力驱动的扭转微镜的静态特性静力学模型出发，分析了扭转微镜静态特性的温度效应。对两组不同尺寸、四种常用材料微镜的吸......
目前对扭转微镜力学特性方面的研究主要围绕静态特性展开，对于其动态特性的分析，已经给出了非耦合与耦合两种模型，但模型中的静电驱动......
使用有限元方法分析了MEMS扭转微镜在真空无阻尼状态下的各项动力学特征,包括模态分析、谐响应分析、瞬态响应分析等,获得了微镜器......
提出了一种检测50Hz交流电的微机电光学电流传感器。通过电磁学、微机电与光学方法说明了传感器的敏感原理与光学转换原理，结合工艺......
论文在调研和分析硅微机械扭转镜光致动器及MEMS 动态测试技术研究现状的基础上,从器件的光机电特性理论分析、结构设计与建模仿真......
RF微器件的制造融合了微加工、集成电路SI工艺等各种技术,其在工作中又受到多种物理因素(如初始应力、机械接触、温度、热弹性、电......
将光纤与微电了机械系统（MEMS）技术相结合，设计了一种新颖的检测50Hz高压交流电的光学电流传感器（OCS）。用ANSYS软件分析了器件的模态、......
