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氧沉淀成核相关论文
重掺杂硅单晶中氧沉淀的研究
该文利用化学腐蚀光学显微镜观察、X射线双晶衍射和透射电子显微镜(TEM)对重掺锑、重掺硼硅单晶在热处理过程中的氧沉淀行为进行了研究,讨......
会议
重掺杂硅单晶
透射电子显微镜
氧沉淀成核
显微镜观察
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重掺硼
掺杂剂
X射线
行为
光学
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