重掺杂硅单晶相关论文
本文应用带电粒子活化分析,通过O(He,P)F反应,测量F的放射性,进行了重掺杂硅单晶中氧含量的测量.......
该文利用化学腐蚀光学显微镜观察、Ｘ射线双晶衍射和透射电子显微镜（ＴＥＭ）对重掺锑、重掺硼硅单晶在热处理过程中的氧沉淀行为进行了研究，讨......
为研究重掺杂硅单晶中氧的行为，克服由于强烈自由载流子吸收的干扰所造成的红外测氧困难，该文首次采用低温４．２Ｋ、超薄样品的傅立叶变换红......
本文研究了重掺p型(B)和重掺n型(P、As、Sb)硅单晶的内吸除效应.发现在本实验条件下,经过改进的内吸杂(IG)处理后,不同掺杂剂的重......
