溅射成膜相关论文
在我所首次将加成法工艺引入到覆铜箔介质基片的加工工艺中，并解决了覆铜箔介质基片之间的附着力问题，大大提高了微带的加工精度，通过......
通过溅射成膜 ,合理选择介质基片、膜层结构及溅射工艺参数 ,合理确定线宽工艺尺寸 ,严格湿法刻蚀的工艺参数 ,抵消了侧腐蚀的影响......
<正> 1 引言 在真空中高速的原子和分子与固体表面冲撞时,把固体表面的原子撞击出来,这种现象叫做溅射。1964年美国西部电气公司在......
通过溅射成膜，合理选择介质基片，膜层结构及溅射工艺参数，合理确定线宽工艺尺寸，严格湿法刻蚀的工艺参数，抵消了侧腐蚀的影响，利用电底加......
