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该文提出了一种提取分层介质中三维静态闭式空域格林函数的通用算法,并成功地运用于三维多层多导体互连结构的电容参数提取。该算......
随着集成电路的不断发展,特征尺寸不断减小,导致互连寄生效应愈加的显著,特别是当器件的特征尺寸降至纳米级后,互连寄生参数提取逐......
