电弧源相关论文
等离子体是激光与靶材相互作用产生的一种重要现象，为了发现激光与靶材间的相互作用机制，我们就可以针对激光产生等离子体来研究。 ......
采用直流磁过滤电弧源技术,在K9玻璃基底上制备氧化钽薄膜,研究了氧气分量对膜层化学计量比、透过率、折射率的影响.结果表明:随着......
采用电弧源技术制备氧化钽薄膜,在氧气环境下对其进行热处理工艺,对比热处理前后样品特性的改变。结果显示,500℃热处理后,膜层化......
采用直流磁过滤电弧源技术,在K9玻璃基底上制备氧化铝薄膜,研究了沉积时的氧气分量和阴极靶电流对薄膜折射率、沉积速率、消光系数......
为了探索电弧离子镀技术制备银薄膜中相关的工艺参数，利用直流磁过滤电弧源在K9玻璃和硅片上制备了银膜，通过白光干涉仪和剥离实验对......
采用AlB12＋2%AlB10电弧靶与Ti靶中频磁控溅射共沉积的工艺,在高速钢基体上形成Ti-Al-B-N多元复合涂层。电子扫描电镜（SEM）、X射线衍射......
