硅化钇相关论文
利用离子注入的方法在Si（111）衬底上制备出了具有六方结构的稀土硅化物YSi2埋层,并对其进行了结构及电学特性的研究.钇注入剂量为1×......
Ｙ离子注和主硅得到特性优良的硅化钇薄层。采用高深高分辨率的掠角背散射和掠角沟道技术分析了注入层结构。结果发现注入层是具有不......
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