硅微通道阵列相关论文
本文基于光纤面板传像原理提出了一种新型传像面板的制作方法。采用光辅助电化学方法制备了硅微通道阵列,并将其作为传像面板的骨......
基于光纤面板传像原理,提出了一种新型光纤面板的制作方法.采用光辅助电化学方法制备了硅微通道阵列,并将其作为光纤面板的骨架结......
高长径比硅微通道阵列在光子晶体、硅微通道板、MEMS器件等领域应用前景广阔。本文开展了硅微通道阵列光电化学方法腐蚀实验,重点......
硅材料因其良好的热电性能、稳定的化学性质、相对成熟的微机械加工技术被用来作为新型微通道板基体材料。与传统微通道板相比,硅......
基于硅微通道阵列厚层氧化机理,对n型<100>晶向硅微通道阵列进行了不同时间的湿氧氧化,用扫描电子显微镜进行观察湿氧过后通道的形......
随着高长纵比硅微通道阵列在其应用领域发挥的作用越来越大,电化学刻蚀硅微通道技术也得到了广泛的关注,然而关于光电化学腐蚀硅微......
电化学刻蚀硅微通道技术已经被广泛关注,但是电化学刻蚀硅微通道过程中的输运特性却鲜有报道,然而硅片中载流子的输运,硅/HF界面电......
硅微通道阵列经高温氧化过程会产生不规则的形变,是高温环境下产生的热应力所致。本文通过建立ABAQUS有限元的模拟程序,对高温氧化......
