硅微陀螺相关论文
本文研究了低Q值(低品质因数)线振动硅微陀螺仪自激驱动电路的基本原理，设计了针对低Q值陀螺的自激振荡驱动的电路，采用调制解调的方......
近年来,随着物联网的发展,传感器的需求量与日俱增。其中,用来测量运动物体角速度的惯性传感器陀螺仪得到了广泛关注。特别是电容......
硅微陀螺的精度受限于其本身存在的各种误差,本文重点围绕起决定作用的确定性误差,通过圆片级真空封装、刚度非线性抑制和消除、闭......
硅微机械陀螺由于其各方面突出的优点,如成本低、易于集成、可靠性高等,近些年得到了飞速的发展和广泛的应用。目前,温度误差较大......
惯性导航系统能够通过惯性装置自主提供运载体的加速度、速度、姿态等导航信息,是一种真正意义上的自主导航系统。随着MEMS技术的......
惯性导航系统对陀螺仪精度的要求越来越高,而硅微陀螺仪有着高集成度、高分辨率、低成本、低功耗等一系列传统陀螺仪无法相比的优......
随着MEMS传感器技术的发展,硅微陀螺仪在民用、军工、航天等领域被广泛应用。高精度硅微陀螺仪是实现精准定位和预测的主要技术手......
本文首先就硅微加速度计、微机械陀螺及MEMS惯性测量组合的研制现状作了一系统的分析.然后对国内研制硅微惯性器件的几个问题(硅基......
陀螺系统的微机械敏感结构部分的性能提升受到成本、工艺的限制,有较高难度,故提升接口电路的各项性能成为提升整个系统性能的关键......
硅微机械陀螺经过本单位多年的探索和实践生产，制作工艺有了很大的改进，产品的模拟性能已经逐渐提高并且也能达到较高的稳定输出，其用......
研发高性能硅微机电陀螺,对于增强国防实力提高综合国力具有非常重要的意义。而目前我国研制的微机电陀螺在工程化应用方面还有较......
硅微陀螺是一种以哥氏效应为基础结合MEMS技术的惯性传感器件,其具有功耗低、体积小、重量轻、抗过载能力强、能适应恶劣环境条件......
硅微陀螺作为MEMS技术的一个重要应用领域,由于其体积小、重量轻、性能稳定以及成本低廉等优势,自问世以来,已被广泛应用于航空航......
硅微陀螺是基于微机械加工工艺制作而成的用于测量运动物体角速度的重要惯性器件,被广泛用于航天航空、交通以及民用消费类电子产......
硅微机械陀螺的零位输出受温度影响较大，为提高精度，对其进行温度误差补偿很有必要，而陀螺表头真空封装后内部温度难以直接测量。通过......
硅微陀螺漂移具有混沌特性,可以通过相空间重构对漂移进行预测.计算出硅微陀螺漂移序列的Lyapunov指数为0.000 529,估计出随机漂移......
硅微机械陀螺批量生产后，传统的微陀螺测试方法耗费时间比较长，需要专用设备，测试系统比较复杂，工作量很大。本文基于双正弦载波调制的......
针对硅微陀螺的零偏受环境温度影响比较敏感的问题,研究了一种新的温度补偿方案。通过研究驱动频率的温度特性,发现驱动频率与温度......
针对ADRXS150硅微陀螺的零位漂移特性，提出了一种硅微陀螺的校零方法，分析了校零原理及误差主要来源，并论述了采用FPGA实现校零和误差......
针对地磁传感器和硅微陀螺的复合姿态测控系统受外界复杂环境干扰,导致弹箭姿态控制精度低,提出利用模块化分析法,分模块对系统组......
硅微陀螺是一个涉及力、电和流体等多个能量域的复杂系统,设计过程中综合考虑这些能量域的耦合作用有利于预测和改善陀螺的系统性......
为补偿漂移误差对硅微陀螺的测量精度造成的损失，针对漂移误差易受外部环境噪声影响的特点，提出了一种基于前向线性预测（FLP）的小波变......
采用四元数算法对微惯性航向、姿态系统进行姿态解算.在实验室进行的大量实验表明,温度对系统性能有很大影响,对陀螺零点偏置的温......
微陀螺仪结构上的腐蚀凹槽或腐蚀腔可以由深层反应离子刻蚀技术得到,加工过程中存在的刻蚀误差对微陀螺的固有频率、输出精度和稳......
设计了一种转子采用五自由度静电悬浮的微机械陀螺。微陀螺基于玻璃-硅-玻璃键合的三明治结构、环形转子、体硅工艺、电容式位移检......
为从源头上消除硅微陀螺的正交误差，采用静电修调方法，研究正交校正结构设计问题．在分析静电修调原理的基础上，探讨校正电极设计原则以......
采用多个硅微陀螺组成阵列并进行数据融合,可进一步提高陀螺测量精度。但阵列中一旦有陀螺出现故障,将造成错误输出。在陀螺阵列卡......
为了提升硅微陀螺的性能指标,本文提出一种基于五阶级联谐振器前馈结构(CRFF)Sigma Delta机电调制器的检测闭环设计方法。首先,给......
会议
为了提高硅微机械陀螺的性能,基于FPGA设计并实现了一种数字化双闭环驱动控制电路。介绍了通过相位控制实现频率跟踪和直流控制实......
为硅微陀螺设计了一种正交误差直流校正方法,通过设计校正结构和加载直流电压实现正交校正.建立了存在正交误差时敏感质量的运动微......
全面分析、研究并实现了一种基于相位控制的硅微机械陀螺（Silicon micromechanical gyroscope,SMG）驱动控制技术.分析了硅微陀螺驱动......
建立了真空封装陀螺的无激励欠阻尼二阶系统模型,用于测量真空封装硅微陀螺的品质因数。对该模型进行理论推导,提出了一种时延常数......
针对电容式硅微陀螺在角速率激励下产生的电容变化量在微弱的aF量级,易受外界信号的干扰而湮没的问题,对传统电容检测方法与环形二......
针对硅微陀螺测量信号特点,建立其测量信号一阶差分后的AR(2)信号模型,得到了硅微陀螺测量系统的状态方程和输出方程,根据该模型,......
硅微谐振陀螺作为一种新型的角速度传感器,具有体积小、功耗低、易集成等优点,在军民领域均有着广泛的应用前景。硅微谐振陀螺驱动......
本文以某兵器上所用惯性导航系统的研制为背景,结合硅微型陀螺仪兼有低成本、 小型化、可靠性好等方面的综合性优点,以及我国兵器......
分析了温度影响陀螺零偏的机理,由温度实验得出硅微陀螺仪零偏与温度呈较复杂的非线性关系;根据实验数据拟合出零偏与温度在三个温......
硅微机械陀螺是在微机电系统技术的基础上发展起来的一种新型陀螺,具有体积小、重量轻、功耗低、抗过载能力强、能适用于较为恶劣......
硅微陀螺是组成惯性导航系统的关键器件之一。由于硅材料是一种热敏材料,温度变化导致的各种误差对硅微陀螺的各项性能指标影响很......
以惯性导航技术的发展历程为基础,结合相关文献资料,简述了各类惯性导航器件的工作原理,综合阐述了国内外船舶惯性导航技术的发展......
陀螺随机漂移是影响MEMS陀螺仪精度的重要指标,有效减小MEMS陀螺仪的随机漂移误差是提高MEMS陀螺仪使用精度的关键技术之一。文中......
提出了一种利用隔振框架解耦的硅微陀螺,其驱动模态和检测模态不仅有各自独立的支撑结构,还有各自独立的惯性质量块,隔振框架隔离......
硅微陀螺敏感电容电荷读出电路性能的优劣直接决定着陀螺仪测量精度。通过对敏感电容读出电路的建模分析,采用差分调制技术实现了......
论文基于普通的体硅工艺设计实现了一个单片集成式硅微惯性测量组合．通过对敏感表头的结构优化设计达到异构图形长和宽的较高一致度......
针对硅微陀螺零偏重复性差和漂移信号中非线性因素的存在，提出利用AR模型系数实时递推方法对漂移信号进行AR建模，并建立相应的状态方......
为补偿漂移误差对硅微陀螺的测量精度造成的损失,针对漂移误差易受外部环境噪声影响的特点,提出了一种基于前向线性预测(FLP)的小......
