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该水下多功能深度传感器由膜片式开关和电子式深度传感器两部分构成,通过一体化融合设计,实现线性模拟信号输出、无源开关和电子开......
该文研究了一种新型的SOI结构的单晶硅高温压力传感器,这种压力传感器是由硅片直接键合技术与浓硼终止腐蚀技术相结合制作而成.该......
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