硅氢薄膜相关论文
环境污染和能源危机是现代社会面临的严峻问题,开发利用可再生的清洁能源成为全人类急需解决的课题,太阳能电池是一种将太阳能转化......
采用SEM和Raman谱对射频磁控溅射法制备的硅氢薄膜结构进行了研究，讨论了在100～400W范围内溅射功率和氢气分压对硅氢薄膜结构的影响......
采用ＰＥＶＤ技术，以ＳｉＨ４为反应器，在不同基片温度和射频功率下制备硅薄膜，对硅薄膜进行ＸＲＤ，ＩＲ，Ｒａｍａｎ分析。研究沉积参量对膜晶化过程的影响，对沉积机理作了初步......
用等离子体增强化学气相沉积法制备了厚为1 μm左右的B轻掺杂a-Si∶H光电导层，得到了a-Si∶H的暗电导率与淀积工艺参数和B掺杂比关......
