硅氮键化合物相关硕士博士期刊学术论文

叙述了在芯片制造过程中,含硅薄膜沉积所需的前体化合物的制备。介绍了芯片制造过程中沉积含硅薄膜的方法,包括原子沉积法、脉冲激......