含硅薄膜相关论文
评述了硅烷在现代科技中应用的发展，介绍了硅烷在各个领域的应用，指出以更高的纯度，更低的成本，更大量地生产硅烷，充分发挥硅烷的特长，探......
叙述了在芯片制造过程中,含硅薄膜沉积所需的前体化合物的制备。介绍了芯片制造过程中沉积含硅薄膜的方法,包括原子沉积法、脉冲激......
