磁过滤阴极真空弧法相关论文
ZrO2薄膜具有高硬度、高耐磨性等优良特性,在诸多领域具有广泛的应用前景.高品质Zr02薄膜的制备一直是科学家们研究的一个重点和热......
磁过滤阴极真空弧法是一种新型的薄膜制备技术，通过磁过滤管过滤掉大颗粒和中性原子，制备出性能优异的薄膜。
本论文采用磁过滤......
采用磁过滤阴极弧法，以金属Zr为阴极在真空室中通入C2H2和N2混合气体来制备纳米nc-ZrCN／a-C：H（N）复合薄膜，用X射线衍射（XRD）、扫描电镜的能......
