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绒面氧化锌相关论文
中频脉冲溅射制备绒面ZnO透明导电薄膜
采用中频脉冲磁控溅射系统制备高透过率、高电导率的平面ZnO薄膜。电阻率为5.57×10^-4Ω·cm。载流子浓度2.2×10^20cm......
期刊
中频脉冲溅射
绒面氧化锌
透明导电膜
mid-frequency sputtering textured ZnO transparent conductive
绒面氧化锌薄膜的研究及其在太阳能电池上的应用
本文利用中频脉冲磁控溅射系统研究了应用于硅薄膜太阳能电池上的铝掺杂的氧化锌(ZAO)透明导电薄膜的制备和性能,主要内容如下: ......
学位
中频脉冲磁控溅射
薄膜太阳能电池
ZAO薄膜
绒面氧化锌
透过率
电阻率
靶电压
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