采用脉冲偏压电弧离子镀沉积系统在钛合金基体上制备出Ti(C,N)/a-C复合薄膜,系统地研究了相组分对薄膜的形貌、结构和性能的影......

为了提高Bi2O3薄膜的光电特能,采用溶胶-凝胶法在FTO衬底上制备了β-Bi2O3薄膜。采用X射线衍射、扫描电子显微镜、紫外-可见光吸光......

随着微电子技术的飞速发展，半导体器件的特征尺寸不断减小，SiO_2作为MOSFET(metal-oxide-semiconductor field effect transistor)的......

采用微波电子回旋共振等离子体增强磁控溅射（microwave electron cyclotron resonance plasma-enhanced magnetron sputtering,ECR-......

二氧化锆薄膜具备其它第ⅣB族金属氧化物薄膜所不具备的很多优良性能。尤其二氧化锆薄膜的某些卓越的光学特性，比如在很宽的波谱范......