超薄硅膜相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

超薄硅膜相关论文

基于MEMS技术带透明电极可变形反射镜的研制

变形镜是自适应光学系统的关键部件。本文提出了基于MEMS技术的一种新型的带透明电极的可变形反射镜。反射镜由静电驱动，包含超薄硅......

会议

自适应光学变形镜静电驱动微机械可变形反射镜微电子机械系统超薄硅膜透明电极

用于高灵敏度红外探测器的超薄硅膜的研制

超薄、平整的硅膜对于制作高灵敏度红外探测器是非常重要的。这种超薄硅膜的各向异性腐蚀技术,包括有机溶液EPW和无机溶液KOH及KOH......

期刊

超薄硅膜各向异性腐蚀高灵敏度红外探测器

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