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微型气相色谱柱改变传统色谱柱体积大,功耗高的特征,通过微电子机械系统将微电子与精密机械加工两种技术结合,实现气相色谱柱以及......
金属玻璃具有独特的原子、电子结构和优良的材料性能,在微细与精密加工领域已展现出广阔的应用前景,也已经被用于微机电系统(MEMS)......
目的提高TA19钛合金的微切削加工性。方法提出一种激光诱导氧化辅助微细铣削的复合加工方法。该方法使用较小功率的纳秒脉冲激光辐......
良好的电学和光学隔离能显著提高微LED阵列器件的亮度、分辩率等工作性能,高深宽比隔离沟槽的制备是决定电学隔离效果的关键.本文......
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原子层沉积(ALD)是一种新型的精确表层薄膜制备技术,具有沉积面积大、薄膜均匀、膜厚纳米级可控生长、低温性等特点,适用于纳米多孔......
由于器件尺寸由90nm技术节点向65nm节点的缩进,在前道工艺的湿法清洗中去除0.1μm及更小尺寸的污染粒子正在成为一种新的技术挑战......