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高温压力测量相关论文
SOI高温压阻压力传感器的开发与应用
压阻式压力传感器是解决高温压力测量的优选方案,克服隔离PN结是问题的关键。通常的SOS法很不理想,该文报道了作者用微机械加工的硅......
会议
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