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超短超强激光与稀有气体相互作用产生高次谐波获取亚飞秒脉冲是近年来超短超快光学的研究热点之一，具有谐波选择和啁啾补偿作用的极紫外啁啾多层膜反射镜是产生亚飞秒脉冲的有效元件。本文阐述了运用极紫外啁啾多层膜反射镜由高次谐波得到亚飞秒脉冲的机理，计算了特定实验条件下高次谐波产生过程中的啁啾，完成了啁啾多层膜反射镜的设计，模拟分析了其产生亚飞秒脉冲的作用。结果表明：所设计极紫外啁啾多层膜反射镜能够获得半高宽为132as的脉冲。