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SIMOX是一种新型的SOI材料,用它制作CMOS电路实现了全介质隔离,具有无闭锁、速度快、抗辐照等优点。该文采用CMOS/SMIMOX工艺研制1Mspample/s八位A/D转换器。该A/D转换器采用半闪烁型结构,由两个四位全并行A/D转换器实现八位转换。电路共有31个比较器 ,采用斩波稳零型结构,它个有结构简单和失调补偿功能,电路采用多晶电阻网络、ROM译 码,三态输出。电路采用5μmCOMS/SIMOX工艺制和,5V单电源工作,0~5V模拟电压佃入。 电路由2100个器件组成,芯片面积3.53×3.07mm<2>。