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扫描热显微镜(SThM)是在扫描探针显微镜(SPM)基础上发展起来的一种表面热参数测量仪器,具有亚微米尺度的分辨率.DI公司生产的SThM在进行测量时,扫描热探针具有明显的双金属片效应.这会对实验的测量结果会产生干扰.研究表明,利用这种双金属片效应可以定性估计材料热导的表面分布或对工作状态的器件进行温度测量;同时可以利用形变信号和热信号一起去分析表面温度.另外,由于双金属片效应不受电信号的干扰,可以据此分析热信号所受的干扰.论文中给出了这方面的范例.这些工作将为扫描热显微镜的准确应用提供帮助.