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介绍了离子镀薄膜技术的发展，传统硬质涂层如TiN、CrN、TiAlN在工具、模具等方面的应用，新型硬质涂层材料如纳米多层涂层、纳米晶复合涂层以及DLC涂层材料的发展和应用，分析了复合镀膜技术的发展状况和应用前景。
离子镀技术及其应用
【摘 要】
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介绍了离子镀薄膜技术的发展，传统硬质涂层如TiN、CrN、TiAlN在工具、模具等方面的应用，新型硬质涂层材料如纳米多层涂层、纳米晶复合涂层以及DLC涂层材料的发展和应用，分析
【机 构】
：
广州有色金属研究院 广州510651
【出 处】
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2009年薄膜技术高峰论坛暨广东省真空学会学术年会
【发表日期】
：
2009年期
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