【摘 要】
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本文主要讨论pH-ISFET(IonSensitiveFieldEffectTransistor)和传感信号检测电路通过标准的CMOS工艺集成,其为目前的一个研究焦点.ISFET微传感器能检测多项生化指标,它是通过ISFET栅极上不同敏感薄膜材料与被测溶液中离子的化学反应来实现的.读取电路与ISFET微传感器的单芯片集成既提高了检测灵敏度及抗干扰能力;同时还可方便地实现ISFET的多通道传感器(即
【机 构】
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中国科学院电子学研究所中国科学院研究生院,北京,100080 中国科学院电子学研究所
【出 处】
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
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本文主要讨论pH-ISFET(IonSensitiveFieldEffectTransistor)和传感信号检测电路通过标准的CMOS工艺集成,其为目前的一个研究焦点.ISFET微传感器能检测多项生化指标,它是通过ISFET栅极上不同敏感薄膜材料与被测溶液中离子的化学反应来实现的.读取电路与ISFET微传感器的单芯片集成既提高了检测灵敏度及抗干扰能力;同时还可方便地实现ISFET的多通道传感器(即多参数检测),并能进一步地与后续处理电路等进行更复杂的单芯片合成,从而使基于ISFET的生化指标测试仪向着智能化、微型化、低功耗、便携式发展.
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