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深亚微米投影光刻机逐场调平测量系统原理与设计
深亚微米投影光刻机逐场调平测量系统原理与设计
来源 :第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qukangmin
【摘 要】
:
介绍一种用于深亚微米投影光刻机的逐场调平测量系统,讨论其工作原理和设计方法,给出部分实验结果。
【作 者】
:
胡松
姚汉民
张津
【机 构】
:
科学院光电技术研究所(成都)
【出 处】
:
第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
:
1999年期
【关键词】
:
深亚微米
投影光刻机
逐场调平
测量系统
系统原理
设计方法
工作原理
实验
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介绍一种用于深亚微米投影光刻机的逐场调平测量系统,讨论其工作原理和设计方法,给出部分实验结果。
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