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MEMS 作为一个多能量域耦合、多学科交叉的复杂系统，一个成功MEMS 设计必须借助于计算机辅助设计。本文结合国际MEMS 计算机辅助设计的最新成果，对MEMS 的设计、建模与仿真方法及其技术进行了详细的论述。对MEMS 器件或系统设计以及MEMS CAD 研究具有参考价值。
MEMS的计算机辅助设计方法与技术综述
【摘 要】
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MEMS 作为一个多能量域耦合、多学科交叉的复杂系统，一个成功MEMS 设计必须借助于计算机辅助设计。本文结合国际MEMS 计算机辅助设计的最新成果，对MEMS 的设计、建模与仿真方法
【机 构】
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中国兵器工业集团第212研究所西安710065
【出 处】
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中国航空学会制导与引信专业信息网学术交流会
【发表日期】
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2005年10期
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