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微光－电－机器件和系统（ＭＯＥＭＳ）是集成光学及光电子集成发展中的新突破，能更充分显示出光集成器件和系统的固有特点，该文讨论ＭＯＥＭＳ所应用的基本结构单元和主要微加工技术，列举几种用于光纤通信的ＭＯＥＭＳ器件及其性能取得的最新进展。
微光-电-机器件和系统的技术及其在光纤通信中的应用
【摘 要】
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微光－电－机器件和系统（ＭＯＥＭＳ）是集成光学及光电子集成发展中的新突破，能更充分显示出光集成器件和系统的固有特点，该文讨论ＭＯＥＭＳ所应用的基本结构单元和主要微加工技术，列举几种用于光纤通信的
【机 构】
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交通大学应用物理系
【出 处】
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全国第8次光纤通信暨第9届集成光学学术会议
【发表日期】
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1997年期
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