论文部分内容阅读
介绍了锗硅HBT生产中获得的关于参数控制与成品率控制方面的经验。论述了生产中的标准工艺模块及其监控手段，以及影响EB结击穿电压、β、接触电阻和微波参数等方面的因素，以及成品率控制方面的经验。
锗硅HBT生产中的参数控制和成品率控制
【摘 要】
：
介绍了锗硅HBT生产中获得的关于参数控制与成品率控制方面的经验。论述了生产中的标准工艺模块及其监控手段，以及影响EB结击穿电压、β、接触电阻和微波参数等方面的因素，
【机 构】
：
清华大学 微电子学研究所,北京 100084
【出 处】
：
第十五届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
【发表日期】
：
2007年期
其他文献
目的 建立高效液相色谱-串联质谱(HPLC-MS/MS)法同时测定大鼠血浆中伏立康哇和卡泊芬净的浓度,并用于伏立康唑和卡泊芬净单独给药和联合给药后SD大鼠体内的药动学初步研究.方
作为后乔丹时代的球员,每一个天才的出世都注定被打上飞人接班人的印记,但众人也只是不断地在接近中徘徊。唯有科比,始终矗立在类比乔丹的旅程中一往无前。
As a player in
目的 通过分子动力学模拟黄酮醇糖苷(DF3G)在十二烷基硫酸钠(sodium dodecyl sulfate,SDS)水溶液中的增溶行为,通过HPLC-MS/MS法比较DF3G及DF3G的5％SDS水溶液(SDS-DF3G)的药动
有个故事说,四位古人谈理想:一个说要富可敌国,一个想妻妾成群,一个盼望得道成仙,最后一位说,我的理想是腰缠万贯,骑鹤下江南。
There is a story that says the four ancie
目的 比较国产和进口替莫唑胺胶囊临床疗效与成本差异,对两者进行药物经济学评价.方法 收集2008年1月-2018年12月在华中科技大学同济医学院附属协和医院肿瘤中心治疗过的240
Molecular targets for COVID-19 drug development:Enlightening Nigerians about the pandemic and future
There is little or no research initiated on enlightening Nigerians about the pathogenesis,targets for drug develop-ment and repositioning for severe acute respi
目的 使用原代培养的人肝细胞研究人参皂苷Rb1和Rg1、丹参素钠、冰片对细胞色素P450酶(CYP450)的诱导作用.方法 分别将3批次的冷冻原代人肝贴壁细胞进行接种培养,使用人参皂
介绍了一种基于原子层淀积(ALD)方法生长的高密度二氧化铪金属-绝缘体-金属(MIM)电容,获得的电容密度达到了9.76fF/μm2,漏电流在1V时处于～10-8A/cm2量级,电压系数(VCC)为
提出了一种可用于高压SOILDMOS器件的SOI材料的工艺制备技术。通过该工艺技术，获得了第一埋氧层图形化的Si/SiO2/Poly/SiO2/Si5层纵向结构的双埋层夹多晶硅SOI材料。其SiO