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该文用量子力学半经验分子轨道ＡＭ１方法计算了甲基作为生长成分在金刚石（１１１）附氢光滑表面上的吸附成核过程。计算表明，甲基对金刚石薄膜外延生长的成核过程有较大贡献。
金刚石(111)附氢表面上甲基合成金刚石薄膜的成核机制
【摘 要】
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该文用量子力学半经验分子轨道ＡＭ１方法计算了甲基作为生长成分在金刚石（１１１）附氢光滑表面上的吸附成核过程。计算表明，甲基对金刚石薄膜外延生长的成核过程有较大贡献。
【机 构】
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大学原子与分子物理研究所(长春)
【出 处】
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第八届原子与分子物理全国学术会议
【发表日期】
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1996年期
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